先进制程采用再生水惹质疑 台积电的解释能让人满意吗
发布日期：2018-04-26
台积电南科先进制程新厂，首度将再生水运用工业生产引发疑虑，国发会主委陈美伶表示，已借由督导平台关注，为配合产业生产需求，再生水标准符合南科相关先进制程所需。
陈美伶同时强调，一旦有异常情况会启动紧急供水措施，对于制程及良率将有更高保障。
台积电晶圆18厂落脚南科，政府承诺会稳定供应水电，提出运用再生水方案，由于目前半导体晶圆生产都是用纯水，台积电晶圆18厂使用再生水，市场关注是否会影响晶圆厂的生产品质与良率。
国家发展委员会主委陈美伶接受中央社记者访问时表示，各项产业生产用水需配合产业生产需求，对于南科先进制程用水需求及标准，讨论使用再生水时即与用水端商议过供水品质及标准，以两段式RO（逆渗透）作为供水规划，相关水质应可符合南科相关先进制程所需。
陈美伶解释，去年就已成立的“南科先进制程环境建置案进度督导平台”，是针对整个台南科学园区的先进制程成立，跨中央相关部会及台南市政府，主要是解决影响产业经营的关键问题。
陈美伶说，为协助业者排除投资障碍，行政院长赖清德主持多次加速投资台湾专案会议，就是为解决目前产业遇到的问题，除了南科先进制程，目前也针对中科园区议题解决处理中。
此外，南科管理局副局长苏振纲受访时指出，南科先进制程不只台积电部分，也有许多厂商需要使用到再生水，在会议中也针对这项议题协调处理，确保厂商使用需求。
苏振纲说，针对厂商遇到的产业需求，从去年下半年就陆续召开会议并追踪进度，因为先进制程厂商都是台湾重大投资，除搜集厂商需求细节，也需要掌握进度，与中央部会与地方政府间进行协调。
台积电5纳米新厂晶圆18厂，是全球第一家进入5纳米制程的晶圆厂，资本投资新台币5000亿元，计划在2020年投入生产。
台积电3纳米、5纳米厂先后确定落脚南部科学工业园区，面对水、电需求，台南市政府先在去年4月启用曾文净水场，每天增加2万吨供水，也将永康污水处理厂升级再生水厂，预计2020年，每天可供应1.5万吨工业用水。