设计应用

射频等离子工艺设备中的自动阻抗匹配技术

作者：赵英伟，张文雅，郝晓亮
发布日期：2020-10-21
来源：2020年电子技术应用第10期

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    等离子体被称为物质的第四态。等离子体加工技术在薄膜制备、清洗等微电子工艺设备中有广泛的应用。射频经过匹配网络后，加到真空室里面反应气体电离产生等离子体。由于腔室压力、气体流量等工艺参数的变化，其等效负载阻抗会发生波动，造成阻抗失配，反射功率增大。反射功率会返回到射频源内部，变成热量损耗，也会在传输线上产生驻波高压，容易损坏射频源内部器件，严重时造成辉光不稳定，影响加工产品的性能。随着技术进步和产品升级，在工艺上对等离子体的稳定性和阻抗匹配的快速性等要求越来越高，因此良好的自动阻抗匹配网络显得尤其重要。




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作者信息:

赵英伟，张文雅，郝晓亮

(中国电子科技集团公司第十三研究所，河北 石家庄050051)

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